Nitrogen-dengan kemurnian tinggi digunakan sebagai gas pelindung dan pembawa dalam pembuatan sirkuit terpadu, semikonduktor, dan perangkat elektronik vakum; ia berfungsi sebagai gas pembawa dalam pengendapan uap kimia; ia membawa gas dalam sumber difusi cair; dan berfungsi sebagai gas pelindung untuk perangkat-tungku difusi bersuhu tinggi.
Nitrogen-dengan kemurnian tinggi digunakan sebagai gas untuk perpindahan, pengeringan, penyimpanan, dan pengangkutan dalam proses seperti epitaksi, fotolitografi, pembersihan, dan penguapan. Kemurnian nitrogen sebesar 99,99% atau lebih tinggi diperlukan dalam pembuatan tabung sinar katoda. Dalam teknologi luar angkasa, sistem pengisian bahan bakar hidrogen cair harus terlebih dahulu dibersihkan dengan nitrogen-kemurnian tinggi, diikuti dengan helium-kemurnian tinggi.
Pada bulan Desember 2025, Administrasi Negara untuk Peraturan Pasar menyetujui dan merilis bahan standar nasional untuk nitrogen dengan kemurnian-tinggi, yang digunakan dalam proses utama seperti pembersihan, pengetsaan, dan pengendapan dalam pembuatan perangkat semikonduktor, serta dalam proses seperti fotolitografi, implantasi ion, dan oksidasi dalam produksi sirkuit terpadu.